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理音液體顆粒計數器的原理及應用

更新時間:2024-11-23      點擊次數:1101
  特點: 最小檢測粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升;粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m;集成的泄漏傳感器和報警輸出;藍寶石傳感器用于KS-42BF。
 
  采用的光散射法原理,可滿足電子化學品,高純化學試劑,配方化學品等藥液中20nm-150um的粒徑測量需求。
 
  原理:光與顆粒發生作用主要分為三類,幾何光學、米氏散 射和瑞利散射。當顆粒粒徑遠大于光波長時,以幾何光學 為主;當粒徑與波長相近時,以米氏散射為主;當粒徑遠 小于波長時,發生的是瑞利散射。液體顆粒計數器根據光 與顆粒作用的原理設計傳感器結構,將計數器分為光阻法 和光散射法兩類。
 
  應用:可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。 液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。 另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
 
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