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潔凈室（區(qū)）高效過濾器檢漏測試的目的是確認過濾器系統安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生。潔凈室高效過濾器檢漏測試包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。

ATI生產的手提懸浮微粒子產生器，廣泛地應用于小如手套箱，大如潔凈房中的HEPA過濾器的測試要求。當要驗證潔凈房或個別過濾裝置中可能由高至低相差很大的懸浮微粒子體積和濃度，或沒有壓縮空氣，或便攜性是必要的時候，TDA-5C煙霧發(fā)生器廠家是一部合適的機器。

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